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隨著科技的進步,產品不斷往輕薄短小發展,促使製造技術朝向精密化、細微化、及高密度化演進,因而衍生出次世代產業需求之「微機電系統(micro-electro-mechanical system, MEMS)」技術。此技術整合光、機、電、控制、化學等多重科技,將微感測器(μ-sensor)、微致動器(μ-actuator)、微處理器(μ-processor)等元件模組化於單一晶片(chip)上,提高微機電系統的應用性與附加價值。下圖即表示先進的質譜儀,仍可藉由MEMS技術再微小化形成質譜儀晶片,如此不僅可節省空間與資源,並增加儀器使用的便利性。輕如毫髮的微型機電系統未來在光電影像、生化醫療、資訊儲存、與精密機械等應用領域將扮演重要角色,預估公元2002年可創造出全世界四百億美金的產值,因此MEMS技術已被科技界公認為二十一世紀高科技產業的重要技術指標,故值得國內在此技術上投注更多的心力。

 
 

Director:  Chii-Rong Yang , Ph.D. (楊啟榮博士
國立臺灣師範大學機電工程學系•微奈米光機電系統實驗室
Micro/Nano-Opto-Electro-Mechnical Systems Laboratory (MNOEMS Lab.)
Department of Mechatronic EngineeringNational Taiwan Normal University
Addr:
台北市和平東路一段129

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