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在化學製程實驗室中,可以進行電鑄、化學蝕刻及體型矽微加工等製程。
 
化學製程實驗室

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光輔助電化學蝕...

恆電位儀

靜電紡絲設備

高壓電源供應器...

均質機

濺鍍機

反應性離子蝕刻...

常壓電漿設備

精密電鑄槽

銅電鑄槽

鎳電鍍槽

滴定儀

光輔助電化學蝕...

極譜儀

表面張力量測儀...

萬向抽氣罩

電磁加溫攪拌器...

精密天平

溼式化學蝕刻槽...

電鑄槽

 

Director:  Chii-Rong Yang , Ph.D. (楊啟榮博士
國立臺灣師範大學機電工程學系•微奈米光機電系統實驗室
Micro/Nano-Opto-Electro-Mechnical Systems Laboratory (MNOEMS Lab.)
Department of Mechatronic EngineeringNational Taiwan Normal University
Addr:
台北市和平東路一段129

老師研究室
Tel: 886-2-77343506

•學生研究室 Tel: 886-2-77343482
無塵實驗室 Tel: 886-2-77343522
本實驗室網頁資料僅供教學研究參考 , 如有侵犯版權問題煩請來信告知
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