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在黃光製程實驗室中,所使用的光阻有JSR-430N、SU-8,及AZ系列等光阻。
 
黃光製程實驗室

本目錄裡共有14張圖片
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3D Printer

側視圖

側視圖

精密網版印刷機...

數位式千分錶

UV曝光機

化學層流台

光阻旋塗機

光學顯微鏡

超音波震盪器

萬向抽氣罩

熱墊板

冰箱

本實驗室逃生路...

 

Director:  Chii-Rong Yang , Ph.D. (楊啟榮博士
國立臺灣師範大學機電工程學系•微奈米光機電系統實驗室
Micro/Nano-Opto-Electro-Mechnical Systems Laboratory (MNOEMS Lab.)
Department of Mechatronic EngineeringNational Taiwan Normal University
Addr:
台北市和平東路一段129

老師研究室
Tel: 886-2-77343506

•學生研究室 Tel: 886-2-77343482
無塵實驗室 Tel: 886-2-77343522
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