計畫名稱 補助單位 執行時間

類LIGA製程應用於靜電式微馬達光開關之研製

計畫編號：NSC 90-2218-E-003-001		 國科會 90/8~91/7

微機電非等向溼式蝕刻技術製作矽微結構之研究

計畫編號：9003106

國立

台灣師範大學		 90/4~91/3
技職教師微機電系統技術基礎實作研習班 教育部 90/8~91/2

類LIGA製程應用於靜電式微馬達光開關之研製

計畫編號：NSC 91-2218-E-003-001		 國科會 91/8~92/7

92年度金屬工業關鍵性零組件加工技術第二期四年計畫專案

-合金電鑄技術之研究-

計畫編號：92G0015

 金屬中心 92/1~92/12

高深寬比光輔助電化學蝕刻技術應用於微光開關之研製

計畫編號：NSC 92-2212-E-003-002

 國科會 92/8~93/7

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最後一次修改於2002/09/12