隨著科技的進步，產品不斷往輕薄短小發展，促使製造技術朝向精密化、細微化、及高密度化演進，因而衍生出次世代產業需求之「微機電系統(micro-electro-mechanical system, MEMS)」技術。此技術整合光、機、電、控制、化學等多重科技，將微感測器(μ-sensor)、微致動器(μ-actuator)、微處理器(μ-processor)等元件模組化於單一晶片(chip)上，提高微機電系統的應用性與附加價值。下圖即表示先進的質譜儀，仍可藉由MEMS技術再微小化形成質譜儀晶片，如此不僅可節省空間與資源，並增加儀器使用的便利性。輕如毫髮的微型機電系統未來在光電影像、生化醫療、資訊儲存、與精密機械等應用領域將扮演重要角色，預估公元2002年可創造出全世界四百億美金的產值，因此MEMS技術已被科技界公認為二十一世紀高科技產業的重要技術指標，故值得國內在此技術上投注更多的心力。