本實驗室為一10000等級之潔淨室，共計90m²，其內除更衣室與機電房外，還分為處理光阻微影製程的黃光室，微細蝕刻加工與電鑄製程用化學實驗室，以及一間微系統封裝實驗室。

各實驗室介紹如下：

l        黃光製程實驗室

在黃光製程實驗室中，所使用的光阻有JSR-430N、SU-8，及AZ系列等光阻。

設備如下：

                 

    UV曝光機                  光阻旋塗機                          化學層流台

　

              

             熱墊板                               光學顯微鏡                        超音波震盪器 

　

                 

       真空HMDS蒸鍍爐                       萬向抽氣罩                              冰箱

          

　

l        化學製程實驗室

在化學製程實驗室中，可以進行電鑄、化學蝕刻及體型矽微加工等製程。

設備如下：

                 

                     化學層流台                                   電鑄槽                             溼式化學蝕刻槽

                    

                      精密天平                              電磁加溫攪拌器                        萬向抽氣罩

         

                  表面張力量測儀              反應離子蝕刻(RIE)

　

l        微系統封裝實驗室

在微系統封裝實驗室中，可以進行晶片接合、玻璃-晶片接合、高分子接合等製程。

設備如下：

        

           晶片接合機                  長工作距離光學顯微鏡             表面輪廓量測儀

         

              金屬蒸鍍機                            高溫燒結爐                         函數產生器

　

  

                 示波器