本實驗室將致力於微致動器、微感測器、微光機電元件、複合微製程及微封裝等技術的開發。

l    微致動器

靜電式、電磁式、電熱式微致動器的開發製作

l    微感測器

微流體感測器、加速度計設計製作

l    微光機電元件

微透鏡、微光開關、光轉換器、光纖連接器、光波導等光學應用元件之開發

l    複合微製程

微製造技術(微影、蝕刻、電鑄、模造成型、犧牲層.)的綜合應用

l    微封裝

陽極接合、黏著、晶片級封裝等技術的開發



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最後一次修改於2002/09/12